主軸是超精密機床的“心臟”，在精密機床的生產加工中起著非常重要的作用。而且，主軸的驅動方式將直接影響超精密機床主軸的回轉精度，因此必須予以充分重視。

超精密機床主軸在運行中有三種驅動方式。

1、 電動機帶輪驅動

早期的超精密車床的主軸都采用這種滑輪由電動機通過的方式驅動時，驅動滑輪有兩種方法：一種是固定主軸殼體，所述馬達被發送到經由帶接地的主軸;另一個被固定在主軸殼體上的電機，所述主軸外殼可以移動，被布置為便于機器的整體。

皮帶傳動的最大優點是電機主軸和超精密主軸對相對位置精度要求不高。電機采用直流電機或交流電機，無齒輪無級調速，減少振動。電機的振動和發熱對超精密機床主軸的影響很小。

電機的振動和加熱對超精密機床的主軸有很大的影響。 電機必須采用高精度軸承進行嚴格的精密動平衡。 同時，電機底座和主軸底座之間必須采用避震隔熱，以減少電機振動和加熱對超精密主軸的影響

現在超精密機床大多采用T型整體布局，即主箱為Z向運動，刀架滑板為X向運動..此時的主軸箱被稱為運動部件，采用電機驅動通過主軸驅動方式，很不方便，電機不能有單獨的基礎..因此，現在大多數超精密機床都采用電機和機床主軸直接連接的驅動方案..

2，通過一個撓性聯軸節闕東主軸電動機

馬克是您的直流電機（或交流變頻電機），并通過柔性聯軸器與機床主軸連接。這時，機床主軸的電機主軸處于同一軸線上。電機應進行精密動平衡，電機軸和機床主軸在安裝過程中應盡可能同軸，并通過柔性聯軸器消除電機軸和機床主軸不同軸引起的振動和旋轉誤差。這種驅動方式在超精密機床中應用較多。

3. 內置同軸電機驅動主軸

即電機軸是機床的主軸..這種電機是特制的，電機的轉子直接加載在機床主軸上，電機的定子加載在主軸箱內，電機本身沒有軸承，而是依靠機床的高精度空氣軸承。采用無刷直流電機，電機可以方便地進行主軸無級變速，消除刷子引起的摩擦振動。為了使主軸盡可能獲得最高的旋轉精度，電機轉子在加載主軸后應通過精密動態平衡，電機轉子與定子之間的間隙應均勻，使驅動力均勻穩定。電機定子應采取通風降溫等措施，以減少因溫升引起的熱變形..

同軸機和主軸電機，不僅提高了旋轉主軸的精度，烘箱主軸Z方向運動，滑塊支架的X方向移動。 Z方向和X方向引導坐在侵入性工具本體，以使得所述機器布局結構大為簡化，容易增加導軌的運動的準確度。