在超精密加工中，振動是一種非常有害的現象，會嚴重影響被加工零件的表面質量和性能。超精密加工中的振動源是來自機床內部的振動和來自機床外部的振動。目前，減少振動影響的方法主要有三種：提高機床的穩定性；消除或減少機床中的振動；減少外部振動的影響。下面詳細說明防振隔振問題..

1，提高了機器的穩定性

超精密機床對機床結構的穩定性要求很高，即各部件尺寸穩定性好，剛性高，變形小，結構的振動和阻尼性能好。

(1)各組分尺寸穩定性良好

使用尺寸穩定性好的材料制作機床零件，如陶瓷，花崗巖，尺寸穩定性好的鋼材，合金鑄鐵等..不僅通過消除應力，時效，冷處理，澆鑄慢冷等方法使構件具有高度的尺寸穩定性。

（2）高剛性的結構，變形小

當機床運動部件的位置發生變化時，工件的裝卸或載荷的變化、力的變化等，都會引起變形。要求結構剛度高，變形小，不影響加工精度。接觸面接觸良好，接觸剛度高，變形小。

2. 消除或減少機床的振動

在超精密機床中使用金剛石工具進行超精密切削時，要求機床工作平穩，不允許振動，因此必須提高機床結構的抗振能力，以減少機床內部的所有振動。

3，減少外部振動的影響

這也是超精密機床中一個非常重要的問題。現在使用的方法是：

(1)超精密機床應盡可能遠離振源: 機床附近的振源，如空氣壓縮機、泵等應盡可能遠離振源。 當無法移動時，應采用單獨的基礎，添加避震等措施，以盡量減少振動對超精密加工的影響。

（2）超精密機床采用獨立基礎、隔斷溝、隔振墻等：為了減少外界振動的干擾，基礎應有足夠的深度，基礎周圍應有隔振溝，溝內應采用減振材料。

（3）利用空氣隔離墊（也稱為空氣彈簧）現在下的超精密機床和精密測量平臺用于自動發現振動的空氣的隔離墊的水平，它通常可以從外部的振動比分離2HZ。小型機床隔離由三個空，大型機器帶有四個空氣隔離墊支架支撐。用空氣隔離墊支撐機之后，現在已經達到了以隔離輸入1.5-2HZ鋼的涂覆的振動頻率。

使用氣墊后，機床需要一個自動找平的控制系統。當機床運動部件的運動中心發生變化時，仍能保持水平。方法是將兩臺相互垂直的電子水準儀放置在機床上。當機床上的運動部件由于中心的變化而不水平時，電子水準儀會發出一個極限值。由于控制系統分為調節空氣隔離墊的氣壓，機床將回到水平位置。由于電子水準儀的精度等級不同，可根據需要選擇，使機床的水平度達到要求。