金剛石工具在精密切削加工中占有重要地位，但在工程陶瓷、半導體和光學玻璃等領域，金剛石工具仍然在很大程度上依賴于磨削和拋光方法。 雖然這些方法可以減少表面粗糙度，但處理效率相對較低。 金剛石微粉砂輪也是精密磨削的重要部件，金剛石微粉砂輪的精密磨削機理。

為了實現精密磨削中表面粗糙度值低的目標，金剛石微粉砂輪主要依靠微切割作用的痕跡來去除，這是一種用固結微粉磨料進行精密加工的新方法。

傳統上，免磨料用于精密和超精密加工。 主要的加工方法是延伸加工，如研磨拋光。 主要的加工機理是磨粒滾動和擠壓造成的已加工表面的塑性變形和流動，表面趨于光滑，磨料壓力會使材料表面反復加工變形硬化，最終導致斷裂和切屑形成。

金剛石砂輪的主要機理是微切削。磨粒具有較大的負前角和較大的鈍邊半徑。一般前角可達-45度，刃口鈍半徑可達100微米。因此，在切削過程中存在著磨屑形成、鼓包、劃傷等現象，這與刀具的切削油有很大的不同。

1、 磨屑形成

砂輪表面的磨粒鋒利突出，可以獲得較大的磨削深度，形成磨屑，磨屑離開工件時可以看到氧化和燃燒產生的火花。

2、 耕犁

分布在砂輪表面的磨粒不夠鋒利，不夠突出，不能產生磨削碎屑，只能在工件表面劃傷犁溝，在犁溝內產生兩次隆起，影響表面粗糙度..

3、 滑擦

分布在磨削輪的表面上，由于其突出高度一些磨粒是非常小的，所以，無論是產生磨損粉末不能產生一個犁，但工件的滑動面上的摩擦，由于高磨削速度，將磨削以產生高溫，并導致熱塑性流動，影響表面品質。

4、 擠壓和塑性變形

砂輪表面有一些突出高度小的磨粒，沒有刃口，只擠出加工表面的輪廓峰，產生塑性變形，使輪廓峰趨于平緩光滑，降低了表面粗糙度值。

5、 彈性破壞

在晶體材料中，存在晶格缺陷，通常是位錯缺陷，間隔約為1微米。 在超精密磨削和超精密磨削中，由于微細砂輪的工作應力小于位錯平均間隔的1微米，在原子或分子水平上會發生彈性破壞，既不是塑性破壞，也不存在殘余變質層。